CVD氣源發生器

產品簡介
CVD氣源發生器，設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。

Name: CVD氣源發生器
Brand: 其他品牌
Availability: InStock

更新時間：2025-05-13

廠商性質：生產廠家

訪問量：582

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

發生器

常規空氣凈化其他發生器航空航天測試特種廢氣凈化光電玻璃制造細菌病毒消殺可控蒸發混合器濕度發生器水蒸氣發生器 VOC發生器甲醛發生器煙霧發生器

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設備配備預壓料桶、與大氣隔離的泵模組、高穩定/耐腐蝕蒸發器以及一體化設計的嵌入式預熱器。液態前驅體經過蒸發段氣化，隨后調溫輸出。輸出組分進一步分布或混合，為CVD工藝提供氣態原料。前驅體接觸的材質均采用耐腐蝕材料。

例

PLC控制系統，Ethernet通訊，與CVD生產線主控系統通訊。

含錫前驅體	≤60	sccm
含氟前驅體	≤20	sccm
H2O	≤60	sccm
功率	7.5	kW

CVD氣源發生器

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